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智鼎自動(dòng)化申請(qǐng)大面積激光退火均勻性控制方法及裝置,實(shí)現(xiàn)激光退火的均勻控制:自動(dòng)化控制

金融界2025年6月11日消息,國家知識(shí)信息顯示,深圳市智鼎自動(dòng)化技術(shù)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“大面積激光退火的均勻性控制方法及裝置”的,公開號(hào)CN120127004A,申請(qǐng)日期為2025年04月自動(dòng)化控制。

摘要顯示,本發(fā)明涉及自動(dòng)控制技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種大面積激光退火的均勻性控制方法及裝置,所述方法包括:獲取基板三維高度分布圖,用自適應(yīng)分割算法劃分子區(qū)域,得到高度均值與邊界坐標(biāo)自動(dòng)化控制。依據(jù)高度均值計(jì)算焦距調(diào)整量,生成焦點(diǎn)參數(shù)表。經(jīng)激光測試比對(duì),動(dòng)態(tài)調(diào)焦至焦點(diǎn)偏移小于閾值,獲修正焦點(diǎn)數(shù)據(jù)。提取能量過渡特征,以最小能量梯度約束生成掃描路徑。按路徑控制激光束,采集能量分布信號(hào),檢測初始退火深度,調(diào)整未達(dá)一致性的子區(qū)域激光參數(shù),平滑邊緣區(qū)域退火特征,生成滿足均勻公差的控制指令。本方法通過測量基板全區(qū)域高度分布,對(duì)基板劃分不同的子區(qū)域并平滑區(qū)域之間的能量過渡,實(shí)現(xiàn)激光退火的均勻控制。

天眼查資料顯示,深圳市智鼎自動(dòng)化技術(shù)有限公司,成立于2015年,位于深圳市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)自動(dòng)化控制。企業(yè)注冊(cè)資本458.5萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,深圳市智鼎自動(dòng)化技術(shù)有限公司財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息15條,信息29條,此外企業(yè)還擁有行政許可11個(gè)。

來源:金融界

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